動（dòng）態可調光衰減器簡介與其（qí）在國內發展現狀（zhuàng）

動態可（kě）調光衰（shuāi）減（jiǎn）器（DVOA）是解決（jué）DWDM光纖通（tōng）信網中信道均（jun1）衡問題的主要途徑（jìng）之一（yī），而隨著光（guāng）纖通信由點到點傳輸向動態光網絡的升級，對DVOA的市（shì）場需求日益增長。DVOA主要集成（chéng）在模塊或（huò）者子係統中，比如基於TFF濾（lǜ）波片的傳統DWDM模塊，被要求加入VOA實現信道的動態均（jun1）衡；基於PLC技術的AWG，也以AWG+VOA模塊的（de）形式出現；在ROADM子係（xì）統中，VOA更是不可或缺。

　　基於（yú）MEMS技術的（de）VOA是DVOA的主要解決方案（àn）之一，具有體積（jī）小、功耗低的優（yōu）勢。奧埔達動態（tài）可調（diào）光衰減（jiǎn）器係列產品是采用微機電（diàn）芯片上一個可移動的轉鏡，轉（zhuǎn）鏡（jìng）抑製輸入激光功率耦合到輸出光纖。器（qì）件外加電壓控製轉（zhuǎn）鏡傾斜角度（dù），由此（cǐ）達到（dào）需要的衰減量。DVOA-A46具有（yǒu）超（chāo）眾的功（gōng）能和可靠性, 是（shì）微型（xíng）可調（diào）衰（shuāi）減器最佳設計（jì）。如圖1所示；

圖1. DVOA原理和（hé）結構

圖2. DVOA-A46單通道動態（tài）可調光衰減器

　　DVOA-A46設（shè）計中的關（guān）鍵問（wèn）題之一是可靠（kào）性，支（zhī）撐反射（shè）鏡的扭轉梁應具有（yǒu）適當的彈性係數，以保證能在適當的驅動（dòng）電（diàn）壓（靜電驅動（dòng））或者驅動電流（電磁驅動）下偏轉足（zú）夠的角度，同時必須（xū）有（yǒu）足夠的強度以抗擊震動（dòng）。而且，扭鏡結構的共振頻（pín）率設計，應遠離日常環境中的振動（dòng）頻（pín）率以避（bì）免共振損害，一般設計在千赫茲（zī）以上。

　　DVOA設計中的關鍵問題之二是波長（zhǎng）相關性（WDL），雙光纖準直器通過（guò）反射鏡的耦合，相當於兩（liǎng）個（gè）準直器之間在角（jiǎo）度失配情（qíng）況（kuàng）下的耦合（hé），其（qí）WDL隨失配角度增大（dà）而劣（liè）化。一個未進行WDL優化設計的（de）DVOA，當中心波長衰減25dB時（shí），在40nm帶寬內的WDL達1.8dB，如圖4所示。為了便於對WDL進行（háng）優（yōu）化（huà）設計，一（yī）般采用C-Lens製作雙光纖準（zhǔn）直器，比GRIN-Lens具（jù）有更好（hǎo）的設計靈（líng）活（huó）性（xìng），經過優化設計的DVOA，在40dB衰減範圍內的WDL，可以達（dá）到（dào）0.4dB以（yǐ）下。當然，DVOA也有單通道應用情況，對WDL就沒有那麽高的要（yào）求（qiú）了（le）。

　　目前，國內具有MEMS VOA芯片供貨能（néng）力的有武漢光（guāng）迅科（kē）技、廣州奧（ào）埔達（dá）光電科技和廣（guǎng）州銀訊光（guāng）電三（sān）家公司（sī），前者（zhě）的技術來自一位海歸博士，後兩者的技（jì）術來自北美華人，而投資方均為國內企業。國內比較完整（zhěng）的MEMS工藝線（xiàn）有兩條，分別屬（shǔ）於中科院上海微係（xì）統與信息技術研究所和北京大學微電子中心，廣州奧埔達（dá）光電科技（jì）就（jiù）是在這些國內工藝線進行流片，推出完全國產化（huà）的MEMS VOA係列產品。

　　前述三家公（gōng）司，均有MEMS VOA封裝能（néng）力，而國內一些（xiē）其他公司，在其模塊或者子係統中有大量的MEMS VOA需求，或者直接購買封（fēng）裝好的器件，但是為（wéi）了提升利潤空間，均傾向於購買MEMS芯（xīn）片來自行封裝，如武（wǔ）漢（hàn）光訊科技、福州高意科（kē）技（jì）等（děng）公司。